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鎢燈絲掃描電鏡的工作原理和優(yōu)勢特點

更新時間:2021-09-24      點擊次數(shù):3993
鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大,抗干擾能力和穩(wěn)定性都較好,低真空下可以對不導電樣品無荷電成像,可用于形貌觀察、顯微結構分析、斷口形貌分析,在材料、地質、礦產、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫(yī)學等領域都有廣泛的用途。
 
工作原理:
通過對電子槍內的鎢燈絲加高電壓,使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài),在陽極作用下,處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經過掃描線圈磁場的控制,電子束在樣品表面逐點掃描,激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號,經探測器收集、放大器放大后,調制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規(guī)檢測。
 
JSM-IT500 鎢燈絲掃描電子顯微鏡是JEOL InTouchScope系列推出的新機型。有哪些優(yōu)勢特點呢?
 
一、Zeromag
 
從樣品座圖形和CCD圖像上可以尋找視野和分析位置。尋找視野非常輕松,多視野連續(xù)分析的位置也很容易。
光學CCD圖像和SEM圖像的結合和無縫操作大大提高工作效率!
利用Zeromag很容易設定大面積的蒙太奇區(qū)域,有利于成像和觀察。蒙太奇功能在斷裂分析和大區(qū)域中識別異物等從大面積區(qū)域上獲取詳細信息時非常有效。
 
二、實時分析,SEM和EDS一體化集成     
 
在SEM圖像觀察過程中,進行EDS分析                      
利用Live Analysis功能,可在觀察窗口中進行被觀察區(qū)域的EDS分析??梢院苋菀椎卣业阶约焊信d趣的元素,還能發(fā)現(xiàn)意料之外的元素。
①顯示存在于測試區(qū)域中的主元素。能元素并顯示“Alert”。
②會顯示分析區(qū)域的特征X射線譜圖和自動定性分析結果。
③一鍵點擊就可以在電鏡操作界面和詳細分析顯示界面間切換。
 
三、數(shù)據(jù)集中管理軟件SMILE VIEW™ Lab,無縫創(chuàng)建報告                  
 
SMILE VIEW™ Lab是能集中管理與樣品臺位置聯(lián)動的CCD圖像、SEM圖像、EDS分析結果等數(shù)據(jù)并快速生成報告的數(shù)據(jù)管理器。查看以前獲得的數(shù)據(jù)、重新分析,生成報告等都非常簡便。
①顯示各個視野的名稱。
②能根據(jù)樣品名、創(chuàng)建日期和數(shù)據(jù)類型等搜索數(shù)據(jù)。
③在樣品座圖形或CCD圖像上顯示各個視野的位置。
④會列表顯示被選區(qū)域的元素圖、譜圖等的數(shù)據(jù)和定量分析結果等。

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